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光学镀膜机不仅用于电子产品的镀膜,还广泛应用于太阳能电池、投影仪、LED、光学头、透镜等,应用范围广泛。下面介绍一下光学镀膜机的结构和原理,希望对大家有所帮助。
光学镀膜机由真空系统、蒸发系统、冷却系统和电气系统组成。真空系统由真空罐和排气系统组成。真空罐是涂布机的主体。涂层过程在真空罐中完成。真空罐通过连接阀与排气系统相连。为了防止空气分子对溅射离子的影响,提高薄膜质量,光学元件和离子源在工作时应置于真空环境中。排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成,负责将真空罐内的气体排出,在罐内形成真空环境。蒸发系统主要是指成膜装置的一部分。光学镀膜机的成膜设备种类很多,如电阻加热、电子枪蒸镀、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。
光学镀膜机通过真空溅射在光学元件上镀上一层薄膜,改变元件对入射光的反射率和透射率。同时,为了尽可能减少元件表面的反射损失,提高图像质量,常采用多层膜。光学元件镀膜后,光线在多层膜表面多次反射和透射,形成多光束干涉。通过控制薄膜的厚度和折射率,可以获得不同的强度分布。利用这一原理,光学镀膜机可以制造偏光反射膜、二向色膜、发光膜、干涉滤光片等,以满足更复杂的需求。